1991从芯开始第115章赌不赌(2/2)

也成立euv极紫外联盟，远景目标定到了10纳米。

相比之下，国内还在用汞灯g线光源的光刻机，无论是技术还是前景，都已经落后得让人绝望，以至于此后的十五年内，国内都绝口不提光刻机。

可苏远山却是知道，krf193+浸润式，可是能用到2020年！

现在这台已经完成的光刻机是1.5微米节点，相比最先进的落后三到四代。如果继续按照原有的步伐，要追上也得十几年。

所以苏远山决定力劝郑振川，无论如何也要抛弃可见光了。

而且要搞光源，还得拉上成光所它爹，长光所。

（凭记忆写的节点，大概没错……回头再查查，有问题我修正）